In der Halbleiterindustrie benötigen zahlreiche Prozesse ultrareines Wasser und Gase für ihren Betrieb. Jede Störung der Gasqualität kann zu einem kostenintensiven Anlagenstillstand führen – dies sollte vermieden werden. Daher ist eine kontinuierliche und schnelle Gasanalyse erforderlich, um die hohen Qualitätsstandards zu erfüllen.

Gas verwendet wird oder unter besonders strengen Vorgaben aufbereitet wird. Es geht darum, die Reinheit in Bezug auf alle Arten von Schadstoffen zu gewährleisten: organische/anorganische Verbindungen, gelöste/feste oder flüchtige/nicht flüchtige Bestandteile, gelöste Gase, reaktive/inerte Stoffe usw.